CF4泄漏檢測基于超靈敏懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜檢測技術(shù),結(jié)合量子級(jí)聯(lián)激光(QCL)光源,可對(duì)CF4的中紅外基本光譜吸收峰進(jìn)行研究。兩者的結(jié)合提供了足夠的靈敏度,可以毫不延遲地檢測到小濃度的CF4飛濺或溢出,同時(shí)確保了超高的穩(wěn)定性。重新校準(zhǔn)周期持續(xù)數(shù)月甚至數(shù)年,從而大大減低了總體持有成本。
高靈敏度的CF4泄漏檢測可以在生產(chǎn)環(huán)境中快速的探測污染物。另外,由于其零背景特性,直接吸收檢測可以確保長期的高穩(wěn)定性。準(zhǔn)確,可靠且維護(hù)成本低的潔凈室污染控制,快速的響應(yīng)時(shí)間以捕獲濃度的突然增加,獨(dú)立的操作系統(tǒng),內(nèi)置的氣體交換泵,無消耗品或化學(xué)試劑,光路短,單點(diǎn)校準(zhǔn)也可達(dá)到一定動(dòng)態(tài)范圍,直接吸收測量,無漂移,高選擇性,并且不受乙醛和其他VOC的干擾。
1、響應(yīng)時(shí)間:取決于用戶定義的通道積分時(shí)間CIT和氣體沖洗設(shè)置。根據(jù)平均時(shí)間和采樣設(shè)置,它從10秒到幾分鐘不等。
2、監(jiān)測下限:小于0.1ppb。
3、動(dòng)態(tài)范圍:大于5個(gè)數(shù)量級(jí)(檢測下限的100,000倍)。
4、重復(fù)性:在操作條件下,校準(zhǔn)濃度的重復(fù)性小于1%。
5、精度:校準(zhǔn)濃度高于5%,這受校準(zhǔn)氣體精度的限制。
6、溫度穩(wěn)定性:CF4泄漏檢測不會(huì)由于工作溫度范圍內(nèi)的環(huán)境溫度變化而引起漂??移。
7、壓力穩(wěn)定性:樣品在壓力范圍內(nèi)的壓力變化不會(huì)引起漂移。